气浮式转台是超精密机械中的一种典型结构，从诞生之日起就一直受到世人的关注，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量、高精密机床研发等领域提供一个能够实现超精密定位、检测和精确运动的载物平台，为开展超精密加工工艺技术研究拓展了领域，能解决高精度零件在加工、检测等方面的难题。
光电所精密机械制造中心借助部门多年的精密机械加工及装配经验，采用最优参数及合理的精度分配完成了前期的设计工作，搭建了气浮转台精度检测平台，最终成功研制出一台直径200mm的气浮转台，由此掌握了气浮转台从设计到制造的全套技术。
在所专项基金支持下，精密机械制造中心2009年成立气浮攻关团队开展气浮转台研制工作。研究团队对高压气体的流动规律、压力分布、转台精度分离方法等进行了充分研究。搭建节流器性能实验平台，研究其影响因素——高压气膜的压力分布、气源压力、节流器直径、节流器数量、均压槽深度等，找到了最优气膜刚度时的参数区间。在气浮转台研制上取得了关键技术突破，为高精度零件的加工与检测、超精密加工工具的研制奠定了技术基础。