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光电所超分辨光刻装备研制项目媒体报道集锦

文章来源: 发表时间:2018-11-30

  1、新华社:“超分辨光刻装备项目”通过国家验收 可加工22纳米芯片

  https://baijiahao.baidu.com/s?id=1618453550726745773&wfr=spider&for=pc

  2、中新社:中国研制成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备

  http://www.chinanews.com/gn/2018/11-29/8688530.shtml

  3、经济日报:我国成功研制超分辨光刻装备 光刻分辨力可达22纳米

  https://baijiahao.baidu.com/s?id=1618474929138757888&wfr=spider&for=pc

  4、国际在线:中国超分辨光刻装备研制取得系列技术突破 拥有完全自主知识产权

  https://baijiahao.baidu.com/s?id=1618460660121356224&wfr=spider&for=pc

  5、光明日报:国际首台分辨力最高的超分辨光刻装备研制成功

  https://baijiahao.baidu.com/s?id=1618468966130058032&wfr=spider&for=pc

  6、中国科学报:我国新一代超分辨光刻机通过验收

  http://news.sciencenet.cn/sbhtmlnews/2018/11/341400.shtm

  7、科技日报:宽刀雕细活 我国造出新式光刻机

  http://m.cas.cn/cmsm1/201811/t20181130_4672544.html

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